实用新型专利名称:进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备 发明人:刘忠范、陈召龙、张艳锋、陈旭东 专利号:ZL201621240862.2 授权公告日:2017年5月10日 专利权人:澳门新甫京娱乐娱城平台