扫描近场拉曼光谱仪是“扫描近场/共聚焦拉曼光谱成像/原子力显微镜”联用系统。

近场光学显微镜包含透射模式和近场接收模式，近场空间分辨率<90nm、<50nm可选；近场显微波长范围400-700 nm。共聚焦显微拉曼模式（透射模式，反射模式）：300 mm焦距光谱仪，含300线/mm和1800线/mm光栅，配置532 nm和633 nm激光器。原子力显微模式包含接触模式、横向力模式、轻敲力模式。xyz压电陶瓷扫描平台，行程100*100*20 um，扫描准确度2*2*0.5 nm。